上海春裕精密仪器仪表中心
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英国MICHELL公司高纯气Pura在线露点仪
英国MICHELL公司高纯气Pura在线露点仪
产品详情
类型: 露点仪传感器 品牌: 英国MICHELL
型号: Pura 量程: -120 ~ -40°C

产品概述:

  在许多的高纯净气体(99.999%)的应用场合如半导体行业,为了满足现场高纯气使用的要求,可用Pura在线露点仪测量残留的微量水分,这一数据是极为为关键的参数。在实际应用中测量水分含量是非常困难的,因为期间需要使用复杂的湿度分析仪或昂贵分析技术。现在,密析尔给市场带来Pura在线露点仪出厂时就可随时安装使用,测量露点z低可测达-120°C(相当于<1ppm)。Pura露点变送器汇集了密析尔生产和校验阻抗露点变送器方面的经验和专业知识,并结合了工业标准选材和制造工艺,使之成为第一款适用于大规模集成半导体制造工厂及高纯净气体行业中的低价位露点变送器。pura_online1.gif

  针对半导体用户,Pura在线露点仪可以提供两种任意可选的配置与用户的设备结合。朴若PuraOEM:结构与朴若Pura优阻Premium一样,均为冷拉不锈钢结构和0.1~0.2μmRa镭 电镀抛光。不同的是不具有100 级洁净指标,仅为单层包装朴若Pura变送器:同朴若PuraOEM,但无流体通过外壳。朴若Pura 变送器出厂带有1/2”VCR 连接口,如下图所示。同时配有运输保护装置用以保护变送器表面。工作时必须把该保护装置拆除,以便在使用时达到z大反应速度以及最小体积采样室。可提供在密析尔传斯迈特本安型Transmet IS露点变送器基础上设计的朴若本安型PuraIS,其输出只有4~20mA。

产品特点:
测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
测量稳定,重复性好
高度集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便
VCR 过程接口
设计紧凑小巧
显示/报警单元可选


详细参数:
传感器
传感器类型 密析尔陶瓷湿度传感器
量程 -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度  ±1°C -40 ~ -60°C;
   ±2°C -61 ~ -100°C;
   ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
    1°C -80 ~ -100°C;
     1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
压力 z低 10-9 torr; 最大 24 MPa
气体流量 1 ~ 5 Nl/min

Pura在线露点仪电气
电源 通常 24 V DC, z低10 V ~ z高28 V , z大电流 25 mA
输出 4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
z大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
输出出错状态 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
机械性能
传感器套筒 不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
气路连接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安装配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包装 Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
所有选配件: 独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作